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主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

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建研发测试中心及新建年产100台半导体设备项目

锡北

江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司

江苏锡澄环境科学研究院有限公司

江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司成立于2024年9月9日，主要从事半导体器件专用设备研发和生产。2025年12月租赁拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司闲置新厂房12000m2建设半导体设备生产及研发测试项目，项目分三期进行建设：一期新建半导体设备生产用的洁净车间和动力车间3485平方米，购置半导体生产用的设计组装测试样机、洁净间风机、半导体设备研发使用的AOI(含3D高度测量仪和2D缺陷扫描仪）、3D形貌和高度干涉测量仪、电镀液分析测量仪等设备，建立半导体设备生产线和研发测试中心，年产半导体设备29台（外售产品共计20台，测试实验室设备9台，测试实验室设备不作为产品外售），年测试晶圆片5000片，项目投资10000万元；二期根据市场需求扩大产能，扩大生产车间及办公面积，预计新增年产半导体设备40台，新增年测试晶圆片1.1万片，项目投资15000万元；三期面向半导体高端设备制造领域，预计新增年产半导体设备40台，新增年测试晶圆片0.85万片，项目投资25000万元，三期完成建设后全厂年产半导体设备100台（不含测试实验室设备9台，测试实验室设备不作为产品外售），年测试晶圆片2.45万片，使用厂房面积扩至12000m2。目前一期工程中1#生产线的设备组装生产线已建设，生产线为纯手工人工组装过程（组装工艺：金属框架、塑料框架→机械部分组装→电路部分组装→模块功能测试→整机功能测试→整机分拆→各部件打包→出厂），对照《建设项目环境影响评价分类管理名录》（2021年版），该组装生产线属于“三十二、专用设备制造业——70，电子和电工机械专用设备制造356中仅组装类”，可豁免环评手续，该组装生产线现已完成排污登记（登记编号91320205MAE0BLTW65001Y）。

原辅材料（三期合计）：金属框架130t/a、塑料框架87t/a、电缆8.7t/a、控制器4.5t/a、变压器18t/a、晶圆测试片23500片/年、硫酸3.7083t/a、硫酸铜3.666t/a等。

生产工艺：

（1）1#生产线生产工艺流程：

①组装工艺：金属框架、塑料框架→机械部分组装→电路部分组装→模块功能测试→整机功能测试→整机分拆→各部件打包→出厂；

②测试工艺：晶圆片→检查及初始数据测量→建立Recipe及确认→清洗→铜沉积→清洗→镍沉积→清洗→锡沉积→清洗→电化学沉积后数据测量→数据整理及评估→测试片集会及demo数据发送客户。

（2）2#生产线生产工艺流程：

①组装工艺：同上；

②D-Poly沉积/Nitride沉积/TEOS沉积测试：晶圆片→检查及初始数据测量→传片→抽真空、N2吹扫→预通气、抽真空、N2吹扫→升温→D-poly沉积/Nitride沉积/TEOS沉积→回压、吹扫→回收相关晶圆片，进行D-poly沉积/Nitride沉积/TEOS沉积后，膜后数据量测→数据整理

③碳化硅外延设备测试：晶圆片→检查及初始数据测量→传片→Ar吹扫、衬底预热→气体置换、升温→刻蚀→缓冲层生长→外延层生长→降温→气体置换→卸片→外延数据量测、整理

④WCVD设备测试：设备启动准备→晶圆装载→晶圆预处理→成核层沉积→主钨层沉积→沉积终点检测→腔体清洁→晶圆卸载

⑤PVD设备测试：设备启动准备→晶圆装载→晶圆预处理→靶材预处理→薄膜沉积→沉积终点检测→腔体清洁→晶圆卸载

⑥ALD设备测试：设备启动准备→晶圆装载→晶圆预处理→前驱体准备→硫化物薄膜沉积→沉积终点检测→腔体清洁→晶圆卸载

⑦ETCH设备测试：设备启动准备→晶圆装载→晶圆预处理→蚀刻准备→核心蚀刻→蚀刻终点检测→腔体清洁→晶圆卸载

1、本项目1#生产线产生的含氮、磷、重金属废水（含镍、铜、锡）经1#废水处理系统（“MVR蒸发器+高级氧化+锰砂过滤器+反渗透”工艺）处理后回用不外排；2#生产线产生的含氮、磷、氟化物废水经2#废水处理系统（“除氨+还原+二级反应沉淀+化学软化反应沉淀+MBBR生化处理+抗高浊超滤膜过滤+二级RO膜+反渗透+MVR蒸发器”工艺）处理后回用不外排；生活污水接管无锡市锡北污水处理厂集中处理，接管量：一期工程后为1620t/a、二期工程后2700t/a、三期工程后4050t/a；

2、本项目1#生产线铜沉积、锡沉积及测试设备腔体清洗等工段废气均经设备配套的管道密闭收集（收集效率以100%计）后与通过操作台配套的通风橱进行废气收集（收集效率以90%计）的调配室废气一起汇入1#一级碱喷淋装置处理，最终由25m高排气筒DA001有组织排放，风量1100m3/h，处理效率80%，未被捕集的废气在车间内无组织排放。2#生产线D-poly预通/沉积、TEOS预通/沉积、碳化硅外延设备测试、Nitride预通/沉积、WCVD设备测试、PVD设备测试、ALD设备测试、ETCH设备测试等工段的废气均经设备配套的管道密闭收集分别经1#电加热水洗式尾气处理设备、2#电加热水洗式尾气处理设备、等离子水洗式尾气处理设备预处理后汇入2#一级碱喷淋装置处理，最终由25m高排气筒DA002有组织排放，风量1700m3/h（一期）、4000m3/h（二期、三期），各污染物综合处理效率80%~99.2%。三期工程后废气排放量：氯化氢0.0492t/a、硫酸雾0.0038t/a、氨0.00117t/a、NMHC 0.0215t/a、SiH4 0.0019t/a、PH3 0.0093t/a、SiHCl3 0.00064t/a、TiCl4 0.0014t/a、H2S 0.002t/a、Cl2 0.0077t/a、氟化物0.0476t/a、二氧化硫0.0037t/a、二氯二氢硅0.0002t/a。

3、项目产生的铜沉积废液、镍沉积废液，锡沉积废液、调配室废液、清洗废液等属于危险固废，一期工程后危险固废合计约30.89772t/a、二期工程后危险固废合计约57.09282t/a、三期工程后危险固废合计约71.21842t/a，均委托有资质的单位处置；废纸、生化污泥属于一般固废，一期工程后一般固废合计约3.4t/a、二期工程后一般固废合计约6.8t/a、三期工程后一般固废合计约8t/a，均委托一般工业固废公司处置或综合利用；生活垃圾由环卫部门定期清运。

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