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主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

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研发生产半导体前道工艺设备扩建项目

无锡市新吴区新安街道华运路以南、观山路以北、净慧东道以西

无锡邑文微电子科技股份有限公司

无锡柯铭环保科技有限公司

无锡邑文微电子科技股份有限公司注册资本36000万元，成立于2011年3月7日，现位于无锡市新吴区新安街道华运路以南、观山路以北、净慧东道以西，主要从事半导体前道工艺设备研发生产，具有年研发30批次及生产450台套半导体前道工艺设备的能力。半导体前道工艺设备是指刻蚀薄膜沉积专用设备，主要包括去胶机、刻蚀机、薄膜沉积设备、退火设备，用途为提高芯片制造质量及可靠性，优化改善半导体材料性能等。现公司根据市场行情及公司发展规划，拟利用现有研发生产楼局部3000平方米进行生产扩建，总投资1400万元购置显微镜、光谱仪等生产研发设备用于测试工序，新增年研发10批次及生产120台套半导体前道工艺设备的能力，建设研发生产半导体前道工艺设备扩建项目。项目建成后，全厂具有年研发40批次及生产570台套半导体前道工艺设备的能力。

本项目建成后各项污染物均可得到有效处置，可达标排放，对环境的影响较小。(1)废气  本项目涂胶、刻蚀测试、薄膜沉积测试工序产生的氟化物经设备密闭收集进入新增的燃烧水洗式尾气处理器+碱液喷淋塔+水喷淋塔处理后，通过新增的45m高排气筒FQ-2排放。废气污染物氟化物执行江苏省地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1中相关标准。(2)废水  本项目产生纯水制备废水、冷却排水、员工生活污水，纯水制备废水、冷却排水较清洁，与经化粪池预处理达标后的生活污水一并接管至太湖新城污水处理厂集中处理，接管废水执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中三级标准与《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）表1中A级标准。(3)固废  本项目一般工业固废由废品回收公司回收处理；危险固废委托资质单位处置；生活垃圾由环卫部门定期清运。采取上述治理措施后，本项目各类固废均不排放，不会对周围环境产生不利影响。(4)噪声  本项目的噪声设备经合理布局，采取合理的降噪措施后，厂界噪声贡献值能够达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中2类标准要求。

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