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项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

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300mm高端半导体设备研发及产业化项目

江苏省无锡市新吴区高新技术产业开发区长江南路东侧、先导控股南侧

江苏天芯微半导体设备有限公司

江苏环保产业技术研究院股份公司

江苏天芯微半导体设备有限公司成立于2019年8月29日，现厂址位于无锡市新吴区新梅路58号，租赁拉萨欣导创业投资有限公司3817平方米厂房（建筑面积），一期“300mm单片硅高端半导体外延设备研发及产业化项目” 于2021年3月22日通过无锡市行政审批局的审批（锡行审环许[2021]7051号），2023年5月通过自主验收。因市场需求，现拟投资61000万元，租赁无锡遨智企业管理有限公司厂房进行生产，建筑面积18000平方米（新吴区长江南路东侧、先导控股南侧地块），建设300mm高端半导体设备研发及产业化项目。项目引进衍射仪、膜厚仪、Local Scrubber等进口设备45台（套），项目研发完成投产后，可实现年产300mm高端半导体用设备100台（套），项目无含氮磷的工业污水排放，有危废产生（委托有资质单位处理）。本项目属于异地扩建，在现有项目研发测试基础上进行扩大生产。本项目建成后，现有项目停止生产。

（1）废水环保措施：项目雨污分流，尾气处理器废水、硅片清洗废水、喷淋塔废水、水喷淋废水、反冲洗废水经厂区废水处理系统（调节池-中和反应池-混凝池-絮凝池-沉淀池-气浮-浸入式膜池-RO一次浓缩-RO二次浓缩-DTRO浓缩-MVR蒸发）处理后达到《城市污水再生利用 工业用水水质》（GB/T19923-2024）中洗涤用水标准后全部回用尾气处理器，不外排。生活污水经化粪池预处理后，与冷却循环废水、冷热循环废水纯水制备浓水、初期雨水一同达到《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表1中的间接排放限值后接管新城水处理厂处理。（2）废气环保措施：项目采取有效的废气收集处理设施，减少大气污染物排放量。本项目工艺研发的流片废气经尾气处理器（燃烧+水洗）+二级碱喷淋处理后通过28m高排气筒（DA001）排放，工艺研发的天然气燃烧废气与硅片清洗废气经二级碱喷淋塔处理后28m高排气筒（DA001）排放。食堂油烟废气经高效油烟机处理后通过22m排气筒（DA002）排放。危废仓库废气经“水洗塔+干式过滤+二级活性炭”处理后屋顶无组织排放。本项目工艺研发排放的颗粒物、硫酸雾、氯化氢、氟化物、氨气、氯气、氮氧化物（参照执行）、VOCs（以非甲烷总烃计）执行江苏省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表3中相应标准，二氧化硫执行江苏省《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1标准，溴化氢参照执行上海市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表1标准。企业厂界氨、硫化氢和臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1标准；氟化物、氯化氢、VOCs（以非甲烷总烃计）执行江苏省《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表3标准。厂区内VOCs无组织排放标准执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表2标准。食堂油烟执行《饮食业油烟排放标准》（GB18483-2001）。（3）固废环保措施：本项目产生的废UV灯、废润滑油、废包装瓶、废润滑油桶、废乙二醇、废气处理废活性炭、废无尘布、污泥及浓缩液、废RO膜（废水处理系统）、废金属管路、废电瓶委托有资质的单位处置，生活垃圾和厨余垃圾由环卫部门统一清运，废边角料、废硅片、废RO膜（纯水制备）、废超滤膜、废活性炭（纯水制备）、废滤袋滤芯、废树脂为一般工业固废，委托合法合规单位回收利用或处置。按“减量化、资源化、无害化”的处置原则，落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施，实现固体废物零排放。（4）噪声环保措施分析：选用低噪声设备，合理布局并采取有效的减振、隔声等降噪措施，厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类排放标准。

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